平面抛光机的首要意图是改进抛光速率，因而能够削减磨削进程中发生的损害层。假如速率十分高，也会使抛光损害层不会造成过错的安排，不会影响观察到的资料安排。假如是运用粗磨，能够起到去除磨削损害层的影响，也有负面影响，将深化抛光层时的伤害。

　　超精细双面抛光加工技能设备，包含双面抛光机抛光完毕后点检测和进程操控设备、清洗设备、废物处理和测验设备等，消耗品包含抛光垫抛光液。超精细双面抛光进程首要包含抛光，清洗后和丈量测验等几个部分。

　　因而，超精细抛光系统包含许多变量：芯片本身变量、抛光液、抛光垫抛光机流程变量，等等，超精细双面抛光进程的三个关键参数是抛光机，抛光垫抛光液，相互匹配和各自的特点对工件表面质量的影响。

　　假如要运用更多的细磨时能够大大削减抛光损害层，但抛光的速度。解决问题的首要办法是在抛光阶段，能够大略的抛光，第一次穿了损害层，然后进行打磨抛光，用来铲除抛光层受损。所以不要严重的加快了速度，但也是削减损害的影响。平面抛光机运用办法比较简单，抛光进程自动化。